Abstract
氧化鉭及氧化鉭一二氧化矽雙層介電材料的電性已詳細被研究。偏極化現象，頻率分散，和電壓效應已從電容一電壓的量測中被觀測，在高壓時，傳導的特性已被發現是遵照Frenkcl-Poole 的行為。漏電流及崩潰電場也被提到。將氧化矽上，以濺射法的堆積氧化鉭，然後在低溫下做熱褪火處理，已被證實有合理且良好的電性質。這結果顯示出雙層介電材料在DRAM超大型積體電路的應用方面，有驚人的潛力。
- Title
- 氧化鉭的電性研究
- Translated title
- 氧化鉭的電性研究
- Creators
- 黃姝香 (Author)
- Contributors
- 黃瑞星 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English