Abstract
本論文研究主題為利用化學氣相沈積法合成出氧化鋅的奈米結構以及量測其特性，並利用奈米操控系統（Nanomanipulater）操控這些奈米結構組裝成各種元件。 在成長方面，我們合成出三種不同的氧化鋅奈米結構，分別為直徑在1 μm ∼3 μm、長度為10μm ∼20μm的氧化鋅奈米棒（Nano-Rod），以及直徑約在20 nm、長度為1μm ∼2μm的氧化鋅奈米線（Nano-Wire），與直徑約在150 nm、長度從數百奈米到數微米，四根柱狀結構相連的氧化鋅四腳柱（Tetrapod）。我們利用SEM（Scaning Electron Microscope）觀察這些結構的表面形貌。並且利用量測它們的光致激發（Photoluminescence，PL）光譜，來研究氧化鋅奈米結構的發光特性及結晶品質。 在操控方面，我們利用裝在電子顯微鏡內之奈米操控系統（Nanomanipulater）操控這些奈米結構。將氧化鋅奈米線組裝於原子力顯微鏡（AFM）探針針尖。並且利用三根鎢針組裝出以氧化鋅奈米線為通道的場效電晶體（Field Effect Transistor, FET），以及量測該結構的電流電壓特性曲線。