Abstract
本文主要內容在於研究、探討氧化鋯工件材料具有高強度、高韌性、熱膨脹係數在陶瓷中極接近金屬、熱傳導率小、富絕熱性。工件加工後所使用的地方為液晶顯示器(LCD)點燈檢查機上的測試探測器，故會有光和熱的影響，且氧化鋯擁有高的韌性和強度，適合使用在這嚴苛的地方，選用氧化鋯可以不受光和熱的影響且擁有較長的使用壽命。及研究該材料在平面磨削(surface grinding)時，工件微溝槽因磨削參數和砂輪不同所造成的影響。 為了降低製造微溝槽元件成本，以及提高加工效率，利用鑽石砂輪進行磨削加工，本論文將利用鑽石砂輪磨削微溝槽時，分別探討砂輪的選擇及加工參數對溝槽的尺寸精度和形狀精度造成的影響，以及砂輪磨耗對尺寸精度的影響，並對其工件觀察及切屑觀察，以了解其磨削機制，並試圖選定磨削參數及選定砂輪以產生最適當的磨削條件。