Abstract
一可靠度很高，以鈀為閘之金氧半場效電晶體的氫氣感測器已被設計及研製成功，為了改進傳統的鈀閘金氧半場效電晶體氫氣感測器，兩種元件結構及製造的方法也一併被設計出來，一種是用一層很薄的鉻插入金屬鈀及絕緣體二氧化矽之間，另一種方法是利用電漿加強式化學氣相沈積一層矽氧氮化物，以取代絕緣層二氧化矽，此二種方法目的在於改進其可靠度，實驗顯示此二種方法有令人滿意的結果，不過以鉻為膠黏之元件有更好之效率，可在氬氣中偵測氫氣至10-4torr，而且以前傳統所製造金屬鈀在二氧化矽上起水泡的情形也完全被消除了。