Abstract
摘 要 Optical Eemission Actinometry(OEA)是一套精確且易於實行的光學量測方法，在欲量測粒子中摻入少量鈍氣（~5％），藉由欲量測粒子及鈍氣所放射出之光強度比，配合公式計算，即可求出電漿中之粒子濃度。 本論文使用OEA法量測氯氣電漿中之氯分子及氯原子濃度，在氯氣電漿中摻入5％的氬氣，量測氯分子譜線：306 nm、氯原子譜線：725.7 nm及氬原子譜線：750.4 nm隨射頻功率變化情形，以計算腔體中的氯分子及原子濃度。於實驗中比較不同操作壓力與不同高度量測位置，粒子放射光強度及濃度變化情形。在不同操作壓力的比較上，粒子放射光強度隨氣壓上升而下降，此因電子溫度隨壓力上升而下降的結果。在粒子濃度的比較上，氯分子及氯原子濃度則是在氣壓高時，濃度越高。氯分子解離為氯原子的比例則為氣壓上升，解離的比例下降，亦是由於電子溫度下降的結果。 在不同高度量測位置的比較上，發現距離陶瓷版較近（4.5 cm）的位置，量測到之粒子放射光強度皆比距離陶瓷版較遠（14 cm）量測到的光強度高，氯分子分解為氯原子比例亦呈現此趨勢，此因愈接近陶瓷版，電漿密度高，有更多的電子產生撞擊激發，而激發出較強的電漿光，解離率也隨之上升。