Abstract
本實驗探討鋁合金的表面覆蓋度σ和水氣分壓的關係，並且由深度分析比較化學清洗、加熱烘烤和曝水等處理方式，在材料表面產生的氧化層和水氣分佈的關係。實驗結果發現：（1）樣品的交換動作將水氣引進樣品分析腔，造成水氣在樣品表面覆蓋度的增加；（2）由深度分析得知，化學清洗產生的鋁合金氧化層（AlO－訊號）厚度比表面經撞濺處理再曝水所產生的氧化層厚，而水氣（OH－訊號）的深度分佈與氧化物的分佈不同，且和處理方法（化學清洗或撞濺後再曝水）無關；（3）烘烤可以達到去除水氣的效果，而且烘烤時間越久去除水氣的量越多，其影響深度可達100A。而烘烤對於表面的氧化物的影響約在6A的深度以內，1小時的烘烤會造成表面（6A）氧化物的訊號上升，當烘烤7小時時會使此部分之氧化物訊號下降，且深度分佈回復至未烘烤時之狀態。