Abstract
PZT鐵電材料由於結構上的特性，常被用來做為各種不同功能元件的材料。在微機電系統中作為微制動器，更是相當有潛力的一種應用；但若要提供足夠的驅動力，需要數mm甚至數十mm的厚度，傳統的薄膜沈積方法很難達到這樣的厚度需求，故須發展新的薄膜製備方法。 本實驗將傳統的液相化學法改良，以有機金屬羧酸鹽溶液為基質，將由溶膠-凝膠法所製得的微粉末均勻分散在基質溶液內，形成0-3 ceramic-ceramic成份，再以旋鍍方式多層鍍覆，以達到製備厚膜的目的。 實驗中將會探討摻雜微粉與薄膜熱處理條件的關係，說明溶液濃度、旋鍍轉速、微粉摻雜等變因對於薄膜厚度和電性表現上的影響。為了能夠應用於元件厚膜的領域中，在膜厚和電性雙重考量之下，以摻雜適量微粉的溶液鍍製薄膜，得到平均每層0.235mm，Pr=19.25 mC/cm2，Ec=46.85 KV/cm的PZT薄膜；若不摻雜微粉，可得到平均每層0.267mm，Pr=18.85 mC/cm2，Ec=42.00 KV/cm的PZT薄膜。