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液相磊晶技術成長光纖偵測器用汞鎘銻
Thesis

液相磊晶技術成長光纖偵測器用汞鎘銻

黃德隆
Masters, National Tsing Hua University
1987

Abstract

液相磊晶磊晶光纖偵測器光纖偵測器汞鎘銻銻
隨著光纖通訊系統的發展,長波長光電元件已是未來進步的方向。1.3微米(或1.5微米)頻道是兩個低色散低耗失的光纖頻域(如圖一),最適合矽晶光纖通訊系統之使用。汞鎘銻是種被廣泛研究的II-IV族光電材料,它的能隙可調範圍從-0.3到1.6電子伏特,而它的特性使得它在光纖1.3微米頻道中表現不凡,因而成為光偵測器的重要考慮材料。本論文的工作由系統建造開始,發展一套非封閉式液相磊晶成長技術來生長汞鎘銻,不選擇補償而以動態平衡來成長。長出的砳晶層以一系列的量測來分析,並嘗試做出好的歐姆接點。我們的工作是屬於相當早期的,可以提出以下四點結論:1.以銻做溶劑,鎘化銻做基板沒有補償的非封閉式液相磊晶技術,已成功長出×0.75的光亮汞鎘銻磊晶層。2.在磊晶成長尾段應用一點回融可使表面結構更加平整。3.應用先均質化好了的溶液配料並加以磨碎,可使溶液均勻性提高,藉以獲得良好的再現率。4.基板品質的好壞對磊晶層品質有決定性的影響。而一點小小的晶格不稱就可產生相當高密度的差排。

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