Abstract
砷化鎵銦具有在光纖通訊上最少損耗的1.65微米波長，因此在光纖通訊上有極大的應用價值。液相磊晶法的系統，成長速率快、生產條件容易控制，並且經濟、系統簡單，十分合適實驗室成長。從系統的建立到單晶層的成長以致於到磊晶光偵測元件成功的製造出來，都被我們辦到了。在測量、分析方面，AES 證明了單晶層的組成極穩定；PL證明了組成的正確無誤；Ｘ光分析顯示，晶格常數十分匹配；C-V 量出了雜質分佈十分均勻；從橫切面觀察，磊晶層十分平整均勻，證明我們成長出了高品質的砷化鎵銦磊晶層。最後，光偵測元件也被成功做出來了，其偵測特性可從I-V 特性圖看出來。