Abstract
本實驗採用溶膠凝膠法(Sol-Gel)，並用旋鍍的方式製備添加La2O3 之PbTiO3 薄膜。原料係用醋酸鉛 Pb(C- H3COO)2•3H2O，硝酸鑭 La(NO3)3•6H2O，異丙醇鈦 Ti[ OCH(CH3)2]4，溶劑為2-甲基氧乙醇 CH3OCH2CH2OH，配製過程中不添加任何其他添加劑。在一般的管爐中和大氣的氣氛中熱處理得緻密膜。部分的試片並做成複合薄膜 (c- omposite thin film)，即先在底電極上鍍中間層(inter- layer)，再旋鍍添加2mole﹪La 的PbTiO3 薄膜。結果發現：不添加任何添加劑的溶膠，在旋鍍至八層，做退火之後可成功做出無裂痕的薄膜。在500℃~700℃退火 30 分鐘可得純鈣鈦礦結構。 La 的添加會有幾點影響：(1)使c/a 值降低。添加至 10mole%時(110) 的繞射峰強度突然增強。(2)有抑制晶粒成長的趨勢，但在部份區域仍會有晶粒成長。(3)使介電常數增加。(4)極化和電場的遲滯曲線(P-E hysteresi- s loop)變得較為斜長，Pr 與 Ec 降低。在複合薄膜方面：若只旋鍍一層 PbTiO3 或 PZT 做為中間層，容易發生上下電極導通的現象。若是鍍兩層 PbTiO3 或 PZT 做為中間層，從 XRD 的結果發現，(100)繞射峰強度變強。P-E 曲線上，複合薄膜比平常 PL2薄膜較為斜長，Pr 與 Ec 也較小。