Abstract
本論文是以有機金屬裂解法（Metallo-organic Decomposition， MOD）作為鍍製鐵電薄膜的中心技術，並且添加以溶膠凝膠法所製備而成的奈米微粉以及高分子聚合物PVP(polyvinylpyrrdidone)來幫助厚膜的成長。首先探討奈米微粉對於鋯鈦酸鉛（PZT）薄膜的影響，將熱處理過已有PZT晶相的微粉加入系統中，可以在微粉的四周開始促進產生PZT之鈣鈦礦結構，而使得性質更好。添加以350℃~450℃溫度燒結所得的PZT微粉可以得到最好殘留極化強度值（Pr）= 25.8μC/cm2及良好的矯頑電場值（Ec）= 28.5KV/cm。另一方面添加PVP有助於單層厚度的提升，且有助於降低crack的產生。不過電性比起未添加PVP之相同濃度PZT薄膜性質(未添加PVP及微粉所測得的最好電性值Pr= 14.1μC/cm2，Ec= 43.5KV/cm)都來的差，最好殘留極化強度值（Pr）= 7.1μC/cm2及矯頑電場值（Ec）= 10.3KV/cm。添加PVP有助於厚膜的形成，若再添加奈米微粉，將會使得厚膜的性質更好。所以本研究探討添加相同濃度而不同比例的微粉以及PVP，發現可量測到最好的殘留極化強度值（Pr）= 20.6μC/cm2及矯頑電場值（Ec）= 3.6KV/cm，且厚度高達一層1.5μm。藉由厚度的大幅度提升將有助於PZT厚膜未來在各式元件製作的應用與發展。