Abstract
本論文以有機金屬裂解法(MOD)鍍製鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜，藉由奈米結晶粉的添加，造成異質成核效應，成功的降低了化學液相鍍膜法的製程溫度。原先需要在550℃高溫熱處理成相的PZT，因為結晶微粉的存在而降低成相溫度至450℃。在微結構上，由結晶奈米微粉的添加將晶粒減小至奈米級晶粒(約100nm)並且改善表面粗糙度。 在鐵電特性上，添加奈米結晶微粉的PZT薄膜鐵電性隨著溫度升高而越趨完整，殘存極化量與矯頑場隨著溫度升高分別增加與下降，在750℃時有最佳的殘存極化量29.2μC/cm2﹔在漏電流特性上添加奈米結晶微粉可以降低漏電流密度約兩個數量級，在10-7A/cm2以下，此漏電流密度已合乎工業標準。 最後在TEM的分析上，我們可以在添加結晶微粉未退火的薄膜中，發現的確有結晶微粉的存在，由繞射環與暗視野的結果確定為在非晶質基質中存在的結晶態物質，隨著溫度的升高至450℃，部分微粉區域逐漸形成晶粒，繞射環原本非晶質部分消失形成較完整的鈣鈦相繞射環。TEM的結果是異質成核最直接的證據。