源極/汲極材料與結構對二硒化鎢電晶體影響之研究

Thesis

源極/汲極材料與結構對二硒化鎢電晶體影響之研究

侯冠志

Masters, 國立清華大學, 電子工程研究所

2017

Abstract

二硒化鎢

石墨烯

接觸電阻

氫氣環境退火

WSe2

graphene

contact resistance

anneal in hydrogen environment

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Details

Title: 源極/汲極材料與結構對二硒化鎢電晶體影響之研究
Translated title: 源極/汲極材料與結構對二硒化鎢電晶體影響之研究
Creators: 侯冠志
Contributors: 連振炘 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 電子工程研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 電子工程研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2018