Abstract
硼一磷系一矽酸鹽玻璃（BPSG）已經廣為應用在微電小工業以及光纖的應用，但因分析技術的困難，硼、磷含量對此種玻璃性質的影響，數據還十分的缺乏，我們因此以溶膠一凝膠法（Sol－gel method） 製造不同組成的硼一磷系一矽酸鹽玻璃，並分析其性質，以瞭解硼和磷對密度，介電常數及折射率等性質的影響，因而對真實應用中的介電常數和折射率等性質有更深入的瞭解。溶膠一凝膠法製造硼一磷系一矽酸鹽一體成型玻璃（mono－lithic glass），主要可分成三個階段，分別為（１）凝膠的合成。（２）乾燥。（３）凝膠一玻璃，三個階段。凝膠的合成，主要是矽有機物的水解和聚合反應，此時所添加TEOS，DCCA硝酸，乙醇，水，硼，磷化合物的量對乾燥過程中，凝膠是否會破裂，有極大的影響，我們在此首先找出能成功得到單石玻璃的各添加物條件後，再製出含有不同硼磷組成的硼一磷系一矽酸鹽玻璃。此處我們採用的條件是〔H O〕 ╱〔TEOS〕莫早比為１５．２，和TEOS等體積的乙醇，以及三分之二TEOS體積的乙醯胺（DCCA）和硝酸濃度為０．８M。乾燥階段，亦稱為化學燒結（Chemical sintering），在此階段是物理吸附的水以及凝膠中有機物的去除，其去除溫度分別為（１）水在１００?１５０℃。（２）乙醯胺和甘油在１５０°?３００℃去除。（３）殘留碳的去除溫度約在４１０?４３０℃。凝膠一玻璃階段也就是燒結階段，一般玻璃的燒結稱之為黏性燒結（viscous sinte-ring），主要須注意（１）小孔洞（micropore） 的消除溫度。（２）大孔洞（mac-ropore）的消除溫度。（３）升溫速率以及停滯時間。我們在此階段是以２℃╱min升溫，並在５００℃停滯１２小時，８００℃停滯１小時，１０００℃停滯１０分鐘，可以成功得到透明的一體成型玻璃。