Abstract
近幾年來，半導體工業發生了數起的火災事故，不但嚴重降低廠方的產能、更造成了嚴重的損害以及人員安全上重大的顧慮。本研究使用安全度評估方法（Probabilitistic Risk Assessment, PRA）估算濕式清洗台（Wet Bench）發生火災危害及處於危險狀態之機率，並提出具體之改善措施及其效益。 評估過程中，先使用元件故障之失效模式及影響分析（Failure Mode and Effects Analysis, FMEA），瞭解濕式清洗台各個元件在系統中所扮演的角色，再利用故障樹分析及人為可靠度分析量化濕式清洗台發生火災危害的發生機率，分析其火災危害主要來源。以靈敏度分析瞭解重要基本事件對濕式清洗台發生火災危害機率的影響，以重要度分析，找出影響濕式清洗台火災危害發生之重要基本事件。 分析結果顯示，濕式清洗台火災危害主要發生於清洗台的工作腔，而火災產生的主要原因為石英護套的破裂、發生裂縫以及加熱棒短路，另外工作腔內部的滅火系統在降低火災危害發生機率上扮演著重要的角色。 濕式清洗台處於危險狀態機率分析的解果顯示，通風排氣系統的故障對此機率有決定性的影響。 較為重要的改善措施包括：機台底部加裝防火系統，滅火系統上加裝壓力偵測裝置，定期檢查並記錄滅火裝置、加熱棒石英護套及機台下半部狀態，提高氮氣供應系統的可靠度亦有助於降低火災危害發生的機率。