Abstract
本研究成功的自製一部三極式(tricde)濺鍍系統，利用此系統來從事不同條件下濺鍍銅膜的研究，由掃瞄式電子顯微鏡(SEM) 及電子微探儀(EPMA)分析銅膜（厚度2 ?10μm ），得知積板溫度、氬氣氣壓、沉積速率及積板粗糙度會影響銅膜微結構，且利用結構區域模式(struetwe Zone MODEL) 來預測膜微結構。由SEM 分析發現銅膜表面會產生局部的突出物及凹陷。這種缺陷的產生是因為積板與銅膜間熱膨脹係數不同產生的內應力所造成，由X 光繞射分析知道積板上銅膜會有優選方向產生。