Abstract
探討以一種新的方法製造無晶形矽氫薄膜二極體。無晶形矽氫薄膜是用不同的靶，以r,f 賤鍍法所鍍出的。一些量測。如顯微組織觀測紅外線吸收光譜以及電性測量，被用來測試薄膜的特性。在較大的氬╱氫氣體比時，可以得到較大的薄膜成長速率，但亦造成薄膜內部缺陷的增加，及矽氫鍵結的減少，在電流對電壓曲線中，可發現在高溫時，試片是遵循著歐姆定律，而在低溫時卻為Poole- Frenkel 關係式。接合二極體(junction diode) 亦由此種方法所製出。
- Title
- 無晶形矽氫合金研究
- Translated title
- 無晶形矽氫合金研究
- Creators
- 王嚴毅 (Author)
- Contributors
- 葉鳳生 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English