Abstract
二氧化鈦晶界偏析電容器之介電性質受電子濃度、氧空缺濃度及Ba 之偏析狀況影響極鉅,而此三項則與二氧化鈦的燒成狀況好冷卻速率、□燒溫度、燒結溫度及氣氛等,有密切的關係。(一):冷卻速度皂減緩,Ba 之偏析之增加,氧空缺也隨之下降,當Ba 偏析超過某一濃度後,二次相析出也隨君增加,影響晶粒之成長,而氧空缺之減少,亦造成介電損失之共振頻率移向低頻,且使介電常數下降,對頻率穩定性變差。(二) 燒後結晶相若有不同,如Anatase 相或Rutile相,則會影響Ba 於二氧化鈦母晶格之溶解度,由於A 具有較大的特殊擴散通道約155A,連Ba 均能從容通過,故A 經燒成後,具較高氧空缺濃度,使介電損失共振頻率移向高頻,介電常數亦隨之下降且穩定性變差。唯1250℃產生特異現象。在缺氧氣氛下,由於溫度效應造成緻密化的速率相互牽制,而使燒結溫度上升時,密度反而下降。氧氣逸失之程度隨溫度之提高而大增,生成大量的氧空缺及電子,此時添加量已無任何影響,因此使低頻之介電損失大為提高且共振頻率全超出預測範圍,介電常數也大為提高。在氮中燒結時,甚至有Ti9O17相之生成,此相直接影響介電常數之變化。