Abstract
本研究是以反應式射頻磁控濺鍍法及離子束處理法，鍍覆氮化鈦薄膜於商用之牙科膺復合金上，以改良這些鈷基或鎳基合金的表面性質。氮化鈦鍍層成功地鍍覆於合金上，並有一最密堆積面 (111)的優選方位。除此之外，經過離子束處理之後，氮化鈦薄膜呈現一較為緻密的結構，並且有 Ti2N的相在氮化鈦薄膜的外表面形成。薄膜的結構與表面形態是以X光繞射儀，低掠角X光繞射法及原子力顯微鏡(AFM) 來分析。在鍍覆氮化鈦鍍層後，牙科膺覆合金的表面硬度值和抗腐蝕性都有增進。比較離子束處理法和反應式射頻磁控濺鍍法，則離子束處理法鍍覆的氮化鈦鍍層在硬度與抗腐蝕性方面有更進一步的增加。鍍覆薄膜前對基材表面所做的離子束清潔前處理則有助於氮化鈦薄膜與合金基材之間的附著性。生物相容性測試則以體外細胞培養方式來進行，所使用的細胞是老鼠黏膜的造纖維細胞 (3T3cells)，實驗結果指出牙科膺覆合金基材鍍覆氮化鈦後在生物相容性方面的初步可接受性。