Abstract
本論文主要是研究商用鈣硼矽玻璃的自由燒結、束縛燒結緻密行為、應力分析。本實驗束縛燒結採用(1)玻璃束縛在燒結過程中不會收縮變形生胚薄片上的束縛燒結(Constrained Sintering)、(2)施與外加壓應力的外加壓應力燒結(Pressure Sintering)二種方法。藉由TMA (Thermal Mechanical Analyzer)分析儀器，量測自由燒結與束縛燒結收縮量，經由公式推算緻密度。實驗結果得知束縛燒結的相對緻密度、緻密速率均遠低於自由燒結。由於束縛燒結過程中鈣硼矽玻璃會滲透至氧化鋁層中形成滲透層，此滲透層會使鈣硼矽玻璃緻密度下降。結晶對束縛燒結緻密行為並沒有太大影嚮。由於束縛燒結無法緻密，改採用外加壓應力燒結。實驗結果外加壓應力燒結的相對緻密度、緻密速率與自由燒結差異不大，兩者均有達到緻密。在外加壓應力燒結過程中由於有摩擦力產生，使鈣硼矽玻璃在X-Y方向流動性不佳，必需使用比理論計算較大的壓應力才能束縛住鈣硼矽玻璃。實驗中束縛燒結應力採用多孔性燒結玻璃構成方程式來做計算。