Abstract
可攜式電子元件中，電源供應器一直是最大的一個元件。由於電源供應器包含了磁性元件，例如變壓器和電感器，因此，縮小此磁性元件對於可攜式電子元件的尺寸縮小是有幫助的。本研究主要論述微型變壓器之設計、製作與量測。本研究選擇螺線型結構設計及製作微型變壓器，此微型變壓器利用微機電製程技術中的面型加工技術、厚光阻製程和微電鍍製程製作。微型變壓器的結構為在磁鐵的兩端以微電鍍的技術電鍍銅線圈。實驗中，使用的基材為4吋矽晶圓，為了減少基材產生的基材損耗，因此，在4吋矽晶圓上長1μm的二氧化矽做為絕緣層，整個元件的支撐結構使用負光阻SU-8，磁鐵使用可室溫製作的Ni80Fe20。元件之結構參數為一次側線圈和二次側線圈數皆為20圈，銅線圈之線寬大小為80μm ，銅線圈厚度為3μm，元件之半徑為890μm，元件尺寸大小為2.01mm×2.01mm×0.03mm。在電源供應中，微型變壓器主要用途為做訊號之傳遞，因此，本研究利用Agilent 54624A示波器和Agilent 33220A波形產生器對微型變壓器的低頻(1MHz~10MHz)電壓傳輸比率和訊號傳遞時的失真現象作量測，利用Agilent E8631A網路分析儀對微型變壓器的高頻(10MHz~50MHz)電壓傳輸比率作量測。