Abstract
在此論文中，高功率的離子束被用來當作是一個退火的工具。主要的結果如下：1.離子束在蒸鍍層所引起的固相長晶。2.離子束在傷害層所引起的重結晶。3.離子束自動退火。
- Title
- 用穿透式電子顯微鏡研究離子束在損傷層或蒸鍍層引起之結晶效應
- Translated title
- 用穿透式電子顯微鏡研究離子束在損傷層或蒸鍍層引起之結晶效應
- Creators
- 謝貴彬 (Author)
- Contributors
- 楊銀川 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English