Abstract
本研究目的在以電腦模擬之方式探討以甲烷（CH4）、氫氣（H2）為工作氣體電漿之電漿源特性，幫助瞭解電漿中的物理現象與化學特性，以及電漿系統操作參數的變化對各電漿參數的影響。模擬中所使用的電漿模型為區域平均模式模型（Global Model），欲探討的參數為電漿密度、各粒子密度以及電子溫度。所控制的參數為電漿吸收功率、腔體壓力、氣體供氣速率還有供氣比例（CH4與H2的供應氣體比例）。 在本研究中，模擬架構主要可分為三個部分。首先為純甲烷氣體的電漿模擬，探討各個操作參數對於電漿參數的影響情形；第二部分，考慮不同的甲烷/氫氣供應氣體比，比較氫氣變化情形含量不同之電漿環境；第三部份，考慮粒子的擴散作用，討論其對於整個電漿模型的重要性。藉由模擬所得到的電漿特性資料，一來可以彌補實作實驗上的不足，再者有模擬做為理論的基礎可以作為進行實驗時，調整電漿系統操作等實驗製程參數的參考，進而加以改善。