Abstract
摘要 積體化光學元件在光通訊產業中一直是十分重要的一環，然而以矽(Silicon)為基底實作的元件也十分的廣泛。本論文提出了一種結構水平漸變的矽光波導，透過半導體製程實作，並結合了黃光微影製作的聚合物波導，達到高效率的光纖與積體化矽光波導耦合。 我們先將設計好之雛形，利用Rsoft公司發行的BeamProp光學軟體進行模擬。本論文實作方面則是採用了SU-8聚合物做為矽波導與光纖之間的抗反射材料，利用它成本較為低廉、且藉由黃光微影製程即可實作出結構的特性，做為耦合器前段的材料。突破了以往只利用矽製作出之多層錐形波導耦合器所面臨的光能量反射問題(Fresnel’s reflection)。且架構中水平錐形矽波導為單層結構，免除了必須在製作多層錐形矽波導時，多次的乾式蝕刻導致尖端線寬的失真。