Abstract
對於gamma-氧化鐵的飽和磁化低的缺點, 為增加其飽和磁化又不喪失其矯頑磁力(Hc), 因此考慮將Fe3O4中間加上Fe 。本實驗室利用直流磁控濺鍍法製作Fe3O4/Fe/Fe3O4薄膜及alfa Fe2O3/Fe/alfa Fe2O3薄膜. 並進行大氣及真空下的360C 1.5hr之熱處理. 探討在不同情形下的磁性行為及相組成. 在Fe3O4/Fe/Fe3O4方面, 鐵的確提高了飽和磁化量卻降低了抗磁力. 初鍍的抗磁力從354 Oe下降至74Oe ;最大磁化量自254 emu/cc增加成392 emu/cc. 在大氣熱處理後, 鐵層會氧化成gamma Fe2O3, 抗磁力平均在550Oe上下, 最大磁化量也在250 emu/cc左右 。 Alfa Fe2O3/Fe/alfa Fe2O3初鍍膜的抗磁力都小於 100 Oe, 最大磁化量隨鐵增加而自92到846 emu/cc. 而 alfa Fe2O3/Fe/alfa Fe2O3熱處理後會出現gamma Fe2O3,抗磁力在800?1080 Oe間, 最大磁化量約123?210emu/cc . 在真空下會使得中間層鐵部份氧化成gamma Fe2O3相,抗磁力與最大磁化量都較初鍍膜高. 鐵對於alfa Fe2O3/ Fe/alfa Fe2O3的磁滯曲線有不同程度的影響. 對於只有兩層的Fe/alfa Fe2O3,性質都比三層的要來的差, 可以證實底層alfa Fe2O3的影響 。