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真實空間轉換元件中熱電子性質之研究
Thesis

真實空間轉換元件中熱電子性質之研究

吳明輝
Masters, National Tsing Hua University
1995

Abstract

真實空間轉換 熱電子 能量守恆 負電阻效應 Real-Space-Transfer Hot electron Energy balance NDR
熱電子在真實空間轉換元件, 可以將此元件歸於半導體-絕緣體-半導體, 當砷化鋁鎵加上一正電偏壓時, 電子在砷化鎵和砷化鋁鎵的介面累積, 形成一個通道。因此, 可以完全將三-五族中的異質結構的電晶體,類比成金氧半電晶體, 砷化鋁鎵有如金氧半電晶體中的氧化層, 只是砷化鋁鎵的位能障礙比較低而已。當電子在通道內受平行電場的加速, 電子從電場獲得足夠的能量, 便可以越過砷化鋁鎵絕緣層的位能障礙, 轉換至集極。此有如眾所皆知的熱電子效應, 熱電子從矽基板發射進入二氧化矽絕緣層中, 只是在真實空間轉換元件中, 電子不會被補捉而陷在砷化鋁鎵絕緣層中。電子受外加電場加速的過程中, 電子從電場獲得能量, 在運動過程中, 與通道內其它電子產生碰撞, 庫侖散射, 主要是能量損失是與極性光聲子, 從能量守恆方程式, 我們得到砷化鎵通道中的電子溫度, 電子溫度的高低, 關係著集極電流的大小, 所以如何估計電子溫度的高低, 是很重要的。電子溫度與電子的移洞動率和電子能量鬆弛率有關。電子能量鬆弛率越長, 電子與極性光聲子碰撞次數越少, 電子能量損失越小, 電子溫度越高。在本篇文章中, 建立一個模型, 計算電子在真實空間轉換元件的集極電流, 在模擬過程中, 電子從電場獲得能量, 越過位能障礙, 從高移動率轉動至低移動率的絕緣層, 造成漏極電流的負電阻效應, 其負電阻效應的大小, 最重要的因素是絕緣層與通道的位能障礙的大小, 金氧半電晶體中二氧化矽絕緣層的位能障礙高達3.2電子伏特, 所以電子轉換至集極的電流很小, 所以集極電流的數量級遠小於漏極電流, 所以沒有明顯的負電阻效應。

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