Abstract
本實驗主要研究水在真空系統中的來源。利用不同的壓力的水氣混合氮氣進行絕熱膨脹，探討在短時間內的抽氣時，空間中的水氣附著於樣品表面的情況。以SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)方法觀察樣品表面水氣訊號的增減情況。由於儀器的改善，在量測背景值上獲得成果：(1)量測到樣品靜置於分析腔中，附著於樣品表面的水氣分子量。(2) 在傳送樣品後，可以使分析腔於6分鐘左右恢復至平時維持的氣壓，降低經由傳送樣品時所引進的水氣分子，並且可以估計經由傳送樣品動作所導入的[OH-]訊號增加量。絕熱膨脹作用之探討方面，可以看到水氣混合氮氣，進行抽氣行為後，樣品表面上的[OH-]訊號隨之增加，表示絕熱膨脹作用可能有伴隨在抽氣的行為裡。