Abstract
本文係探討真空洩漏診斷專家系統(vacuum system leakage detection expert system, VSLDES)之建構與測試。此VSLDES在經將專家群知識架構，以法則方式，建成可推理的系統後，共包括了6項子系統：擴散幫浦(diffusion pump)系統：共有21項法則，涵蓋17項狀況，提供33項可能的原因或狀況排除方式。?渦輪分子幫浦(turbomolecularpump)-1系統：共有18項法則，涵蓋16項狀況，提供34項可能的原因或狀況排除方式。?渦輪分子幫浦-2系統：共有16項法則，涵蓋14項狀況，提供31項可能的原因或狀況排除方式。?冷凍幫浦(cryo pump)系統：共有26項法則，涵蓋25項狀況，提供41項可能的原因或狀況排除方式。離子幫浦與鈦昇華幫蒲(ion pump and titanium sublimation pump)系統：共有7項法則，涵蓋6項狀況，提供15項可能的原因或狀況排除方式。?乾式幫浦(drypump)系統：共有194項法則，涵蓋35項狀況，提供25項可能的原因或狀況排除方式。6個子系統(sub-systems)總共有282項法則(rules)、77項qualifiers、與102項choices。屬於一中型規模的專家系統。 此VSLDES應可針對6項特定的真空系統做多數狀況的判斷、排除；在任意蒐集的三個實例研判後，確證是如此；然而，各子系統整體適用的廣度，仍待蒐集更多新生狀況案例，研判後以驗證或加強之。