Abstract
本文描述了鋁合金真空性質的研究過程與結果。其中探討了鋁合金系統達到１０□□□Torr真空度的處理過程和相關的現象、鋁合金的表面釋氣以及三極式鋁合金離子幫浦的抽氣作用等重要問題。實驗中，除了採用傳統的真空實驗方法之外，並且也使用了與超高真空關係密切的表面分析工具。實驗結果指出，鋁合金具有良好的熱釋氣性質，而且鋁合金幫浦也具有抽氣作用。對於釋氣以及抽氣作用，文中也探討了其原理。
- Title
- 真空系統的釋氣與處理鋁合金真空系統的研究
- Translated title
- 真空系統的釋氣與處理鋁合金真空系統的研究
- Creators
- 陳俊榮 (Author)
- Contributors
- 蘇青森蔡春鴻 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English