Abstract
本論文研究的目的在於改進本實驗室之反射式光譜分光儀,使之可以在實驗腔體外旋轉光柵,進而改變入射光源的角度對8-70 eV的真空紫外光進行分光,並配合實驗室改進後的光點偵測器,偵測不同能量的繞射光子,經分光後的聚焦像點及能量大小.分光儀是將真空紫外光加以偏折,聚焦,分光,以達到實驗要求的重要儀器:為了確保分光儀的品質,我們藉"SHADOW"程式模擬,預測光線追蹤(Ray-tracing)後的波長解析度,聚焦位置的排列,改進我們實驗室之反射式光譜分光儀,並且正確的安裝分光儀內的光柵,使之能符合理論設計下的位置,角度.