Abstract
因申請專利緣故，資料延後公開
- Title
- 矽化鍺掩埋式通道應用於奈米線通道複晶矽快閃記憶體元件之特性研究
- Translated title
- 矽化鍺掩埋式通道應用於奈米線通道複晶矽快閃記憶體元件之特性研究
- Creators
- 陳瑋頡
- Contributors
- 張廖貴術 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 工程與系統科學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2014