Abstract
太陽能(solar energy)是取之不盡用之不竭的潔淨能源，可是目前因太陽電池成本太高，為了降低成本使用多晶矽和非晶矽的基材，但因缺陷較多，以致效率無法提升。因此，本研究探討提升太陽電池效率的方法。本論文利用電漿離子佈植(Plasma Immersion Ion Implatation,PIII)及氮氫混合氣體退火(Forming Gas Anneal,FGA)處理已完成的電池，期待能在效率上獲得提升，PIII使氫離子佈植到電池中，再經由FGA使電池達到鈍化的效果。將處理完的電池做效率和量子效率(Quantum efficiency,QE)的量測，觀察隨處理前和處理後之間的變化。並在實驗最後，我們探討電池各因素經PIII和FGA處理完之後的變化情形，並討論其變化程度對電池的影響程度。