Abstract
近年來隨著硬碟機記憶容量的需求愈來愈高，硬碟片的製造技術也顯的愈來愈重要了，尤其是在硬碟片拋光製程部份。有愈好的硬碟片拋光品質，對提昇硬碟片資料儲存量是有很大幫助的，而要有效改善拋光後硬碟片的表面特性，就必須先瞭解拋光過程的基本加工機制。 本研究以實驗的方式，改變研磨液滴入孔的排列位置，使拋光墊上的研磨顆粒分佈產生變化，觀察其對材料移除量的影響。並搭配其他可能影響研磨顆粒分佈的參數，進行實驗。實驗中將行星齒輪式雙面拋光機台的太陽齒輪轉速固定為零，使載具不動，以簡化影響研磨顆粒分佈情形的因素。而當載具停止不動，硬碟片放置在內側或外側不同位置時，所受到的相對線速度與所在位置研磨顆粒密度分佈均會不同，造成內、外側硬碟片移除量會有所差異。實驗將觀察這方面的差異並與Preston's equation的推算作比較，針對兩者不同之處來修正模型。 論文中將對拋光墊上研磨顆粒可能的分佈情形作一個假設，並修正Preston's equation來推導新模型，加入研磨顆粒的分佈密度函數對於移除量的影響。然後分別以Preston's equation與修正後的新模型對移除量及非均勻度作推算，將推算出的結果與實驗分析的結果作比較。