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研磨液組成對鋁鎂基板硬碟片拋光後表面特性影響之研究
Thesis

研磨液組成對鋁鎂基板硬碟片拋光後表面特性影響之研究

黃煌傑
Masters, National Tsing Hua University
2002

Abstract

化學機械拋光研磨液 CMPslurry
近年來隨著硬碟機記憶容量的需求愈來愈高,硬碟片的製造技術也顯得愈來愈重要了,尤其是在硬碟片拋光製程部份,有愈好的硬碟片拋光後品質,對於提昇硬碟片之資料儲存量是具有極大助意益的,因為此要如何有效改善拋光後硬碟片的表面特性,將成為值得研究的首要目標.

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