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Thesis
研磨液組成對鋁鎂基板硬碟片拋光後表面特性影響之研究
黃煌傑
Masters, National Tsing Hua University
2002
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化學機械拋光研磨液
CMPslurry
近年來隨著硬碟機記憶容量的需求愈來愈高,硬碟片的製造技術也顯得愈來愈重要了,尤其是在硬碟片拋光製程部份,有愈好的硬碟片拋光後品質,對於提昇硬碟片之資料儲存量是具有極大助意益的,因為此要如何有效改善拋光後硬碟片的表面特性,將成為值得研究的首要目標.
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Title
研磨液組成對鋁鎂基板硬碟片拋光後表面特性影響之研究
Translated title
研磨液組成對鋁鎂基板硬碟片拋光後表面特性影響之研究
Creators
黃煌傑 (Author)
Contributors
林士傑 (Advisor)
Awarding Institution
National Tsing Hua University; Masters
Theses and Dissertations
Masters, National Tsing Hua University
Resource Type
Thesis
Language
English
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