Abstract
LIGA技術為一深具潛力及希望之微機械製造技術，其特色為可製作出複雜形狀、高深寬比及量產之微結構元件，並可達到低成本及快速生產的效益。此篇論文之目的即在研究如何以非導電基板製作出應用於微機電用途之金屬噴嘴薄板（Metal Nozzle Plate）。 在傳統製作金屬噴嘴薄板製程中，是以不鏽鋼片為基材，在黃光製程中經由光阻的塗佈及曝光、顯影等步驟，形成特殊之光阻微模。由於不鏽鋼基板與光阻微模於製程中遭遇到許多問題，所以此論文之目的在於探討如何改善傳統製程所遭遇的問題。實驗中採用物理氣相沉積方式鍍覆金屬薄膜於玻璃基板上，在黃光製程中經由光阻的塗佈及曝光、顯影、蝕刻、去光阻等步驟，以蝕刻後裸露之玻璃並無法導電之特性，形成特殊之金屬微模，再經電鑄製程後，即可得所需特定外型的金屬微結構，進一步探討金屬微模的重覆利用程度及噴嘴薄板之成型過程，以利實際應用。