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碲化汞鎘離子佈植後退火條件之研究
Thesis

碲化汞鎘離子佈植後退火條件之研究

林啟元
Masters, National Tsing Hua University
1985

Abstract

碲化汞鎘離子佈值退火磊晶硼
X為0.31和0.34的P型Hg1-x Cdx Te/CdTe 磊晶層,經用能量為100Kev,流量為1.45×1015 cm-2 電流為2μA cm-2 的硼離子佈植後,再在 240℃– 550℃溫度範圍內,分別於汞和碲化汞環境下,作30分鐘退火,並用富氏紅外光譜,雜訊頻譜,電流一電壓特性,和77℃霍爾效應方法測量,從實驗結果得知,於低溫退火後的 n型導電性是因佈植時所做成破壞引起,而於高溫退火後得 n型導電性則是經由植入的硼離子活化所至,故可得結論,在一合理溫度範圍內退火,可消除植入時所做成破壞和使植入的硼離子活化,並同時可得到良好品質的碲化汞鎘,基於以上因素,使得在選擇碲化汞鎘的佈植源時,硼離子顯得非常吸引。

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