Abstract
本實驗以Terbium Hydride、Iron和Cobalt的粉末， 用真空熱壓的方法成功的做出Tb-Fe-Co靶材，所做的最 成形溫度為540℃；並探討不同熱壓條件對靶材磁性和鰼顑宒隤獐v響。並藉由熱處理獲得較理想的相和較低的B含量的靶材而濺鍍得到具方正性且正確落在I、III象限犖牬�穇線的薄膜。其主要結果如下: . 石墨的脫模效果較BN好，會增加靶材的硬度，有較穩w的彎曲實驗性質；但用BN脫模劑製作出的靶材擁有較好瘍s曲實驗性質。. 利用TbH2-3做為粉末冶金的起始原料，雖然在熱壓過{會去掉部份的氫(200~450℃)但小部份氫還是會殘留在v材□，可能會伴隨濺鍍過程而到薄膜上。. 金屬熱壓模(SKD61)證實可以用在粉末熱壓製程中，可j幅減低模具費用。. 富Fe、Co區的韌性較富Tb區及金屬間化合物區為高。 . 熱壓後續熱處理的適當溫度為1100℃左右，在此溫度鶶B理後可擁有優於市售靶材的機械性質，而且有跟市售v材類似的X-ray繞射峰和類似的磁性質。. 靶材經過1000℃以上的熱處理將可有效的降低靶材內B的含量，經過熱處理後的靶材所鍍出的薄膜磁性從反磁岈酮做w磁性，推測是薄膜中的含氫量所影響。