Abstract
本文提出了磁致動微機電系統顯示元件的設計概念，並完成其製造以及測試。 此元件為以鎳材質之微鏡面結構群形成的陣列所組成，利用磁感應的方式使微鏡面產生扭轉，藉由其角度的變化來將入射光線做適當的反射，當微鏡面結構之扭轉剛性互有不同時，在相同的磁場感應受力之下，微鏡面彼此間轉動的角度便有所不同，因此在適當的磁場感應下，便能使得相同轉動角度的微鏡面同時將光線反射，再將其透過預先的排列之後，便能顯示出特定的圖形。 本文設計的元件採用UV-LIGA的製程方式來製造，並透過電鑄不同材料的金屬分別做為犧牲層與結構層，將其相互做堆疊後，再將犧牲層蝕刻去除便能使微結構懸浮釋放。本製程不但內容單純，而且使用設備均容易取得，並且能夠製造出一定程度的深寬比結構，同時還能控制其結構的內應力，與其它高深寬比製程相較下，其成本上佔有相當大的優勢，除此之外，本製程屬於低溫製程，因此還能夠易於與其它製程作整合。