Abstract
本篇是以化學氣相輸送法,在真空密閉的石英管內成長Cu In S2磊晶層,而作出P-CuIn S2╱n-Gnp異質結合體。其較適當的成長條件為:T2=780℃,T1=640℃,碘量在1?1.5mg/c.c.之間,成長速率與所加碘量有關。在成長過程中磷化鎵晶片易為碘所侵蝕,我們從熱力學計算來說明此點的重要性。此外,由熱力學平衡的觀點,亦可預測整個系統的輸送速率,成長率以及磷原子在密閉系統中的濃度。藉著掃描式電子顯微鏡,發現在CuInS2磊晶層表面有兩種不同的成長結果;在Gap(111) A 面上有三角錐狀的突起,而在Gap(111)B 面上則有六角錐狀的突起。所長出的磊晶層,亦以α-ray(Back reflection method),以及其他電性測試來確定它的一些性質。結果證實該磊晶層是單晶,P-type,電阻率約為104Ω-cm,其晶面為(112) 與Gap(111)符合。此外,在成長過程中亦摻入Ni、Cd等雜質,結果電阻率顯著降低,並有光生伏特效應。