Abstract
本論文主要探討磷酸對於鈀奈米粒子穩定性及在對無電鍍銅沈積催化活性的影響。在高分子PVP作為保護劑下，鈀離子經由甲醛還原成鈀奈米粒子，可作為無電鍍銅沈積製程之催化銅還原活化劑。不同於商業化所使用的錫鈀膠體，二價錫離子容易被溶氧而氧化使得鈀粒子沈澱，此高分子型奈米鈀具有更好的穩定性，在FR-4基板上亦有很高的催化活性，但是鍍通孔實驗結果發現通孔內鍍銅效果不佳，在玻纖處出現孔破缺陷。添加磷酸於奈米鈀活化劑中可以改善鍍通孔的效果，但是卻造成鈀粒子聚集沈澱。 在本論文中，我們發現磷酸分子是造成奈米鈀活化液不穩定的原 因。當溶液中磷酸濃度過高時會導致奈米鈀聚集。由IR和UV光譜圖發現磷酸分子會與PVP高分子產生氫鍵而形成錯合物，DLS結果亦顯示了加入磷酸後的奈米鈀與PVP形成較大的水合團簇。TEM圖提供了奈米鈀粒子顆粒大小與分散情形，利用模型分析SAXS結果得知奈米鈀粒子間與團簇間的距離和分散情形。結果顯示磷酸使得高分子奈米鈀結構更為鬆散，而磷酸二氫根陰離子造成PVP更緊密的纏繞於奈米鈀，進而降低了奈米鈀的催化活性。從SEM圖發現微蝕製程會造成玻璃纖維表面粗糙化，粗糙的表面可以吸附較多的奈米鈀，但是外層的奈米鈀會遮蔽內層奈米鈀的催化活性，使得玻纖布上無電鍍銅結果不佳。加入磷酸後的奈米鈀粒子在環氧樹脂上可以催化較多的無電鍍銅量，也因此在鍍通孔實驗中，即使玻纖處的無電鍍銅效果不佳，但可以憑藉環氧樹脂提高玻纖處的無電鍍銅反應，使得背光結果可以達到工業要求。