Abstract
由於大面積的陣列半導體元件可用於移動的機器、人體上或是用於其他生物體的外面或裡面的一些非平面的表面上，所以大面積的陣列半導體元件吸引了許多人的目光。這種巨形電子元件是由許多東西組合而成的：包含可饒式基板、驅動用的電晶體陣列以及偵測器的陣列。這些偵測器是用來收集外界的資訊，另外電晶體則是用來控制此主動驅動陣列的開關。 本論文旨在發展一種壓力感測元件，藉由垂直式空間電荷限制電晶體整合一層對壓力敏感的橡膠。文中詳細介紹兩種空間電荷限制電晶體，並針對其製程與工作原理討論。首先，初代空間電荷限制電晶體，其輸出電流為27mA/cm2，開關比為385，電流增益約為104。第二部份為新型空間電荷限制電晶體，此結構具有完整絕緣體包覆住柵極，故能大幅降低off current提高開關比，其輸出電流為5.15mA/cm2，開關比大幅提升至10775。將空間電荷限制電晶體與壓力感測層 整合成主動式感測元件，當壓力施加於壓力感測層時輸出電流有很快速的反應，其反應時間約22毫秒。