Abstract
半導體製造為電子及通訊產品的核心製程，亦為台灣現階段最具代表性的關鍵產業，目前台灣半導體業者的製程水準、製程能力、服務以及製造技術，在世界經濟舞台上佔有重要的地位。而半導體設備昂貴設備直接相關成本占總製造成本相當高昂，八吋晶圓廠設備機台成本占 2/3 以上，十二吋晶圓廠設備機台成本約占 3/4，為了保持競爭力，半導體業者必須不斷地在製造能力上精進，提供客戶高性能、低成本的解決方案。大量製造的晶圓廠中，生產力 ( Productivity ) 、品質 ( Quality ) 與低成本 ( Low cost ) 這三個構面是要不斷追求進步的終極指標。本研究擬以從半導體設備機台維護的角度，考量晶圓廠設備維護策略之優化，並透過繪製物與情報流圖 ( Value-Stream Mapping, VSM ) 或稱『價值溪流圖』，以一個晶圓專攻廠之個案為研究對象，探討其設備維修及零件庫存管理策略。同時，研究並建構設備維修及零件庫存管理之資訊系統模型，為企業提供一個實際且有效的流程改善方法。並以精實原則精神落實在於程序/人員/工具與技術三大系統中，在人員的培養、程序的標準化、平坦化，以及採用工具來實現標準化，幫助組織人學習。在充滿競爭，輜銖必較的環境下，企業要能永續經營實須不斷的反省及改善。最後並對有意導入設備維護保養的企業提出工程面與營運面的建議及發展策略，同時對後續的研究提出相關的建議。