Abstract
本論文針對波長4 um的紅外光肖特基能障偵測器，利用電腦模擬求出整個光學腔之材料及其厚度之最佳選擇，使得Ptsi吸收率可得最大值。計算量子效率時，選用1015cm3 的P-type Si 做為substrate ，改變Ptsi的厚度可得出最大的量子效率為0.8 ％或0.84％，而若在Si上佈值入高濃度的三價硼離子，可使得能障變低、變窄，因而使由光子激發產生的電洞emission不但增加，並且也增加了tunneling 的貢獻，尤其所佈值之雜質濃度愈高，也就更顯著，使得量子效率最大值3.7 ％或2.7?4.3％為最好，PtSi厚度則約在100A左右。參考資料：RCA Review. vol.43, 1982