Abstract
本研究欲利用TSMC 0.35μm 2P4M 標準CMOS製程平台並結合金屬氣相沉積與高分子材料之後製程（Post Process），製作一電容式觸覺感測器，其特色為將結構與CMOS電路整合在同一晶片，達到單石化之效果，另外使用此後製程所製作之感測結構，透過自行精確調整感測器結構厚度與感測間隙，可達到機械結構之改善。
- Title
- 結合高分子與金屬感測電極於CMOS-MEMS電容式觸覺感測器之研究
- Translated title
- 結合高分子與金屬感測電極於CMOS-MEMS電容式觸覺感測器之研究
- Creators
- 顏伯凱
- Contributors
- 方維倫 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 動力機械工程學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2010