Abstract
利用Crank-Nicolson方法解以脈衝電子束做退火處理之熱傳導方程式（Heat Conduction Equation）。在計算過程中熱導率（Thermal Conductivity）與熱容（Heat Capacity ）隨溫度之改變而變化。在不同之能量下（15KV?18KV）其溫度在不同深度之分佈，使表面熔解所須之起始能量密度（Threshold Energy Density），熔解所能夠達到之最大深度（Maximum Melting Depth ），再結晶速度（Recrystallization Velocity），以及雜質之再分佈（Dopant Redistribuions ）都經過仔細計算。在對脈衝電子束退火之整個過程中，我們用到了液相的雜質擴散模型。