Abstract
鈮酸鍶鋇(strontium barium niobate)固溶系列為鐵電材料當中一種,化學式為SrxBa1-xNb2O6,簡稱SBN,室溫結構為正方晶鎢青銅結構(tetragonal tungsten bronze type structure), Sr/Ba比可連續地變化,使得SBN的居禮溫度Tc可在60℃~250℃間變化。雷射濺鍍法具有化學計量比容易控制,鍍膜速率快等優點,尤其在製作成份的氧化物特別容易控制,所以我們使用雷射濺鍍法製作SBN 50薄膜。文獻報導鐵電薄膜在矽基材及白金基材上有時效(aging),疲勞(fatique)等問題,會造成薄膜性質的衰減。 48nm之KrF準分子雷射,並嘗試以YBCO取代白金電極,並選用CeO2為緩衝層,使YBCO可以在Si基材上生長,使得SBN 50可以在此種結構上生長出具C軸方向,且具鐵電性質的薄膜。