Abstract
摘 要 本論文主要在在研究微電鑄 (Micro electroforming) 的製程中， (1) 最佳的平整度與 (2) 較低粗糙度的製程條件對反應標的物之影響。我們由製程中挑選出重要且具影響力的因子，經由不同條件的實驗設計，尋求較好的結果，並研究影響製程的變數與系統之間的關係。 本研究中，由田口實驗設計法 (Taguchi Method) 來作初始實驗點的安排，再以類神經網路 (Artificial Neural Network) 來建立製程系統的模型，以及訊息理論 (Information Theory) 為基礎的預測模式來找出系統的最佳化條件。經由此兩種方法，我們可利用最少的實驗次數上得到最佳之條件，以節省大量的成本與時間。