Abstract
本論文主要是利用碳粉顯影技術與有限元素法對壓電蜂鳴片上波動情形做一系列的探討，並且進一步分析薄片型超音波致動器的驅動原理。 薄片型超音波致動器其結構以一般市售的壓電蜂鳴片為主體，並在蜂鳴片金屬背板外緣每隔90度、120度、150度的位置鎖緊螺釘來改變蜂鳴片上的對稱的波動。壓電蜂鳴片的原本只有徑向的波動，因為鎖螺釘造成不對稱的邊界條件使得蜂鳴片產生徑向和弧向波動，當輸入電壓頻率改變時，蜂鳴片在90度位置的波動方向會相反，所以新型超音波致動器可利用單相但是不同頻率的輸入電壓以改變轉子轉動方向。 除了探討薄片型超音波致動器的趨動原理，亦設計側推式超音波致動器原型機，並做基本特性量測以證明此種設計的可行性