Abstract
本論文中我們利用X光反射率量測以擬合方式得到MgO(100)與MgO(111)基板表面之粗糙度，再利用X光縱向漫散射對其量測到的漫散射強度與動量變化量取雙對數求其斜率s，代入公式: s=-(2+1/h) 即可得知'殘形維度'h ; 如此，我們固定出兩個表面參數'粗糙度'以及'殘形維度'，再以X光橫向漫散射之量測擬合出第三個定義表面形貌之參數'相關長度' ; 最後再與AFM量測做比較，我們發現利用X光反射率與漫散射所得到之表面形貌參數與AFM得到的結果有相當的出入;在本論文的結論中，我們將會歸納可能在實驗以及模擬中可能發生的誤差作定性的探討。。