Abstract
磷化鎵晶體滲入氮原子，是製造高量子效率的發光二極體必要的過程。本文中藉帶電粒子活化分析法測定磷化鎵晶體中液態磊晶層的氮含量，並分別決定液塞直拉單晶層中氮與硼的含量。液態磊晶層氮含量的測定採用質子活化氮原子生成Ｃ11的方法。液塞直拉單晶層氮含量的測定則採用：（１）雙能量活化分析法；（２）氘離子活化法。活化所得的放射性核種Ｃ11，經化學分離之後，再以伽馬－伽馬符合偵檢線路測量其活性，最後以比較法求得其含量。對於實驗所得的液態磊晶層氮含量與液態磊晶程序之間的關係也加以敘述。實驗的結果顯示，液塞直拉單晶層中氮含量約為１０18原子每立方厘米，硼含量為１０17原子每立厘米，液態磊晶層氮含量為１.２×１０18 ? １.５×１０18原子╱立方厘米，比值已達液態磊晶中氮原子溶解度的飽和點。